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华海清科(688120SH)：自主研制的清洗配备已批量用于公司晶圆再生出产

来源：行业动态时间：2025-01-12 13:58:46

格隆汇12月23日丨华海清科(688120.SH)在互动渠道表明，公司CMP配备包括清洗模块，清洗技能均为公司自主研制，根据公司在此范畴的技能沉淀和集成电路客户的实在需求，公司积极开展清洗配备的研制作业，首要面向资料端的终端清洗市场需求。公司自主研制的清洗配备已批量用于公司晶圆再生出产，应用于4/6/8英寸化合物半导体的刷片清洗配备和12英寸单片终端清洗机已完成首台检验，清洗产品发展顺畅。

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